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碳化硅研磨机

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    HTM系列凸盘式高效超细砂磨机属于国内外开发的高效,新结构研磨设备,它综合了盘式和销棒式研磨设备的优点,具有耐磨性价,研磨件寿命超长的优点。主要应用于超细、超硬、超纯物料研磨。如碳化硅、碳化硼等。索取资料咨询价格推荐产品供应产品产品分类HDMHorizentalDiskMills钛白粉砂磨MineralProcessing超大型金砂磨机Horizontal高刚性研磨机|半导体制造设备|东精精密设备(上,919高刚性研磨机高刚性研磨机是对蓝宝石、碳化硅等难磨材料进行研磨的设备。高刚性研磨机:HRG3000RMX全自动高刚性三轴研磨机,可实现快速无损伤加工。加工成本低,加工精度高,实现镜面加工。样首片国产6英寸碳化硅晶圆发布,有哪些工艺设备?有多难做,1021碳化硅研磨机主要技术难点:高硬度材料减薄厚度的精确测量及控制,磨削后晶圆表面出现损伤层、微裂纹和残余应力,SiC晶圆减薄后产生比Si晶圆更大的翘曲现象,薄晶圆传输中的碎片问题等。国内外主要厂家:日本不二越、韩国NTS、美国斯德堡、中电科四十五所、湖南宇晶、苏州赫瑞特,等。碳化硅抛光机主要技术难点:大尺寸高精度抛

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